日前，总投D蒸资讯寰采星科技（宁波）有限公司入驻宁波海曙高桥镇，入资并投入运营。金超家O键材这是亿元一家高精度金属掩膜板（FMM）的企业。

　　据宁波寰采星公司总经理许宗义介绍，镀关目前项目一期工程落户在宁波海曙区高桥镇，料F落户办公室和人员均已入驻，项目行业正在进行厂务无尘室改造工程。宁波项目进展顺利，总投D蒸资讯预计2020年2月设备安装调试，入资6月试生产完成。金超家O键材样品通过客户端验证后，亿元进行量产，镀关9月以后开始创造营收。料F落户

　　许宗义还表示，项目行业公司未来的二期、三期工程将扩产FMM产线10条，总投入资金额12亿元，满产后年产值35亿元，年税收4亿元，占中国市场份额的40%。

　　据OLEDindustry查阅天眼查发现，宁波寰采星公司由多家公司参与，还有行业内的面板人士参与。

　　据悉，蒸镀问题是AMOLED的核心问题，而准确遮罩蒸镀技术（FMM）是用来解决蒸镀农业生产体系材料RGB三基色的像素阵列涂布。也是目前实现量产的彩色化技术方案。由韩企三星电子率先开发成功，我国目前基本沿用此技术。

　　据了解，三星AMOLED产品综合良率柔性屏为80%左右，而刚性屏达到90%以上。国内首先量产的京东方成都六代中小尺寸柔性生产线（B7）采用Tokki蒸镀机，于去年10月份量产。经过几个月的良率爬坡，到今年3月份时，综合良率已经爬升到65%【1】。而根据相关测算，刚性屏良率需达到80%以上，制造成本才和LCD相当。

　　表1.中国大陆AMOLED生产企业

　　图1.AMOLED面板在各良率数字中的生产成本(Source:NPDDisplaySearch)

　　制造AMOLED的准确遮罩蒸镀技术，其原理如下所示：

　　图2.AMOLED蒸镀原理示意图

　　用于蒸镀的LTPS玻璃基板，必须与FMM紧密贴合。否则就有混色不良产生。为了实现这一目的，蒸镀过程中采用cooling plate下压玻璃基板，采用magnet往上吸FMM，以清理两者之间的gap。另外，FMM的slot开孔必须与LTPS玻璃基板上阳较图案准确套合，否则蒸镀材料会镀偏造成混色。因此，决定蒸镀良率的两个关键因素：FMM与玻璃基板的贴合和套合。

　　1、贴合

　　影响贴合的主要因素有FMM平坦度，cooling plate的结构、位置和磁力大小。其中FMM平坦度涉及到MASK的设计和制作工艺，本文不展开讨论。cooling plate目前有两种技术方案。一是Tokki采用的无冷却水方式。优势是能减轻plate下压的重量，减少破片风险的产生。而且无冷却水，结构可以做薄，减少对磁铁的损耗。但是这会带来一个问题，随着蒸镀过程的进行，FMM和plate温度的变化造成MASK和玻璃基板的变形，不利于蒸镀套合的稳定。因此，Tokki蒸镀设备的长期稳定性，有待实践检验。cooling plate除去Tokki，其他蒸镀设备商都采用循环水冷却。好处是可以保证整个蒸镀过程中，MASK温度上升不超过5℃。能有效降低MASK和玻璃基板的变形，增加蒸镀过程的稳定性。但另一方面，cooling plate厚度的增加造成重量的过重，容易产生对玻璃的挤压而破片。而且，也会增加对磁力的损耗。如Tokki蒸镀机磁力能达到500Gs,而其他厂商在300 Gs。但从实践的效果来看，300 Gs的磁力并不会影响贴合的效果。

　　2、套合

　　为提高AMOLED屏幕的发光效率，要求RGB像素开口率越高越好。然而开口率的增加，会降低像素之间的间隙(PDL Gap)。因此在特定的工艺条件下，为避免套合偏位混色，PDL Gap小尺寸满足如下公式：

　　式中Margin表示工艺余量；

　　Shift表示蒸镀原因造成的PPA偏移；

　　TP、CD、PPA和alignment分别表示LTPS玻璃像素精度，FMM slot开孔尺寸精度，mask张网精度和蒸镀对位精度。

　　对于分辨率越高的显示屏，PPA和shift等参数管控要求越高。

　　在以上所有影响套合精度的因素中，MASK PPA和蒸镀shift是影响大的关键因子。他们决定了AMOLED生产厂商的技术能力。

　　表2.不同分辨率下对应的工艺技术要求

　　为表述方便，我们引入一个概念——蒸镀PPA。它表示的是实际蒸镀位置和LTPS玻璃阳较图案之间的位置偏差。依据上述公式可得：

　　2.1蒸镀shift

　　导致蒸镀shift的主要原因是温度变化及MASK所受到的应力。

　　2.1.1温度影响

　　蒸镀过程中，农业生产体系材料被加热到200-400℃之间，透过mask在玻璃上凝结。中间放出热量使玻璃基板和mask温度升高。在热膨胀因素的作用下，玻璃基板的阳较图案出现膨胀。而mask像素孔出现收缩。另一方面，热量使mask frame框架膨胀。因此，温度对蒸镀PPA的影响较为复杂。需对结果进行分析总结相应的规律。

　　2.1.2应力影响会发生形变。也会造成mask PPA的变化。这种变化一般来讲没有规律，只能调节。Mask frame在cooling plate的压力作用下蒸镀设备尽可能地降低该影响。

　　在重力作用的影响下，Mask stick在与玻璃基板接触时也会因为应力而产生偏移。这部分应力主要有挤压应力和摩擦应力，不同stick在该应力的作用下会出现不同的偏移情况。

　　正因为蒸镀shift的存在，造成蒸镀套合PPA的控制是整个蒸镀过程中关键的一环。目前的解决方案是总结mask的PPA变化规律，在张网时进行相应的补偿。即便如此，蒸镀shift也不能完全清理。而且，玻璃基板尺寸越大，该shift值也越大。这也是目前AMOLED只能做到中小尺寸的原因。

　　从国内量产的情况来看，部分厂商能把蒸镀shift控制到3um以内。只有做到这个水准，蒸镀的技术才能说被基本掌握。

　　2.2 MASK PPA

　　FMM张网制作精度用PPA来表示。从表2可以看出，随着屏幕分辨率的提高，mask张网精度要求不断提升。制作全高清屏幕，一般要求mask PPA低于5um。目前通过工艺改善，国内有部分厂商能达到这一水平。FMM stick来料精度、张网过程，焊接偏移，CF加载情况等均影响到mask精度。

　　图3.蒸镀套合PPA（蓝色为设计点位，棕色为实际蒸镀位置）

　　总体来说，国内已量产企业对于AMOLED技术并未取得一体打破。都存在某些方面的技术短板。但每家公司面临的技术问题不一样。比如有的解决了贴合问题，而蒸镀套合PPA过大。而另外一些解决了套合问题，但贴合存在不良。因此，如果能综合各家经验，中国在攻克AMOLED技术的道路上会顺利很多。